انباشت به روش تبخیر شیمیایی

جریان مستقیم پلاسما (بنفش) باعث بهبود رشد نانوتیوب‌های کربن در دستگاه سایز لابراتوار PECVD می شود.

انباشت به روش تبخیر شیمیایی یا رسوب شیمیایی فاز بخار (به انگلیسی: Chemical vapor deposition به اختصار CVD) یکی از روش‌های شیمیایی لایه نشانی است که در تولید لایه‌های بسیار خالص میکروبلورین در فناوری نیم رساناها به کار می‌رود.

غالباً انباشت روی زیر لایه‌ای از ماده مشابه (مانند سیلیسیم روی سیلیسم)انجام می‌شود. این انباشت ممکن است از طریق چند نوع واکنش شیمیایی انجام شود: گرماکافت که در آن از دمای زیاد برای تجزیه ماده استفاده می‌شود. نورکافت که در آن از نور فرابنفش یا فروسرخ برای تجزیه ترکیب‌های گازی استفاده می‌شود.

روش دیگر ممکن است از طریق واکنشی از نوع $A+AB_{2}\leftrightarrow \ 2AB$ انجام شود که در آن AB ترکیب گازی و A ماده مورد نظر برای انباشت است. ازخصوصیات این واکنش اینست که AB در دمای زیاد ترکیب پایداری است اما در دماهای کمتر مؤلفه A جدا می‌شود.

منابع

سوالونی، هادی. مبانی علم سطح در نانوفناوری ج۱. تهران: دانشگاه تهران، ۱۳۸۳، شابک ‎۹۶۴-۰۳-۴۸۹۲-۹