برآرایی بخار هیدرید

از ویکی‌پدیا، دانشنامهٔ آزاد
پرش به: ناوبری، جستجو

اپیتکسی فاز بخار هیدرید (به انگلیسی: Hydride vapour phase epitaxy) گونه‌ای اپیتکسی است که در ساخت گونه‌هایی از نیمه‌رساناها مانند GaN، GaAs، InP کاربرد دارد. گازهای بکار رفته معمولاً شامل آمونیاک، هیدروژن، کلرید هستند.

جستارهای وابسته[ویرایش]

منابع[ویرایش]

ویکی‌پدیای انگلیسی