نماسازی ظرفیت-ولتاژ
نماسازی ظرفیت-ولتاژ (به انگلیسی: Capacitance–voltage profiling) (یا نماسازی C-V، گاهی نماسازی CV) فنی برای توصیف مواد و افزاره‌های نیم‌رسانا است. ولتاژ اعمال‌شده متغیر است و ظرفیت آن به‌عنوان تابعی از ولتاژ اندازه‌گیری و ترسیم می‌شود. در این فن از پیوند فلزی-نیم‌رسانا (سد شاتکی) یا پیوند p-n[۱] یا ماسفت برای ایجاد ناحیه تخلیه استفاده می‌شود، ناحیه‌ای که از هدایت‌سازی الکترون‌ها و حفره‌ها خالی است، اما ممکن است شامل دهندههای یونیزه‌شده و نقص‌های فعال الکتریکی یا تله باشد. ناحیه تخلیه با بارهای یونیزه‌شده درداخل، مانند خازن رفتار می‌کند. با تغییر ولتاژ اعمال شده به محل پیوند، می‌توان عرض ناحیه تخلیه را تغییر داد. وابستگی عرض ناحیه تخلیه به ولتاژ اطلاعاتی کاربردی در مورد خصوصیات داخلی نیم‌رسانا، مانند مشخصات زدایش آن و چگالی نقص‌های فعال الکتریکی فراهم می‌کند.[۲][۳] اندازه‌گیری‌ها ممکن است در DC یا با استفاده از هردو DC و یک سیگنال AC با سیگنال-کوچک انجام شود (روش رسانایی،[۴]) یا استفاده از ولتاژ گذرای سیگنال-بزرگ.[۵]
جستارهای وابسته[ویرایش]
- مشخصه ولتاژ-جریان
- ناحیه تخلیه
- عرض تخلیه
- نماسازی ظرفیت سطح راه‌انداز
- طیف‌نگاری گذرا در سطح-عمیق
- ساختار فلز-اکسید-نیم‌رسانا
منابع[ویرایش]
- ↑ J. Hilibrand and R.D. Gold, "Determination of the Impurity Distribution in Junction Diodes From Capacitance-Voltage Measurements", RCA Review, vol. 21, p. 245, June 1960
- ↑ Alain C. Diebold (Editor) (2001). Handbook of Silicon Semiconductor Metrology. CRC Press. pp. 59–60. ISBN 0-8247-0506-8.
{{cite book}}:|last=has generic name (help) - ↑ E.H. Nicollian, J.R. Brews (2002). MOS (Metal Oxide Semiconductor) Physics and Technology. Wiley. ISBN 978-0-471-43079-7.
- ↑ Andrzej Jakubowski, Henryk M. Przewłocki (1991). Diagnostic Measurements in LSI/VLSI Integrated Circuits Production. World Scientific. p. 159. ISBN 981-02-0282-2.
- ↑ Sheng S. Li and Sorin Cristoloveanu (1995). Electrical Characterization of Silicon-On-Insulator Materials and Devices. Springer. Chapter 6, p. 163. ISBN 0-7923-9548-4.
{{cite book}}: Unknown parameter|nopp=ignored (|no-pp=suggested) (help)
پیوند به بیرون[ویرایش]
- شبیه‌ساز MOScap در nanoHUB.org کاربران را قادرمی‌سازد تا مشخصات CV را برای نمانگاری، مواد و دماهای مختلف آلایش محاسبه کنند.