الگو:میکروتکنولوژی - ویکی‌پدیا، دانشنامهٔ آزاد

ساختارهای پایه

کاربردها

حسگرها	میکروبولومتر
عملگرها	Comb drive Scratch drive actuator Thermal actuator
کلیدها	میکرو آینه دیجیتال ترانزیستور نوری
دیگر	Millipede memory Radio-frequency microelectromechanical systems سیستم‌های اپتو-الکترو-مکانیکال ریزفوتونیک ریزسیستم‌های زیست‌الکترومکانیکی رده:ریزسیال‌شناسی Micropower

فرایندها

عمومی	ریزماشین‌کاری سطحی ریزماشین‌کاری حجمی سامانه میکرو الکترومکانیکی رده:لایه‌نشانی رده:طرح نگاری Etching بندزنی سیمی
ویژه	لوکوس عایق‌بندی تاشه کم‌عمق لیگا Lift-off طرح‌نگار نوری سیلیکون روی عایق Smart cut