برآرایی بخار فلز-آلی

از ویکی‌پدیا، دانشنامهٔ آزاد

نسخه‌ای که می‌بینید نسخه‌ای قدیمی از صفحه است که توسط P.yaghoubizadeh (بحث | مشارکت‌ها) در تاریخ ‏۱۲ اوت ۲۰۱۹، ساعت ۱۵:۴۰ ویرایش شده است. این نسخه ممکن است تفاوت‌های عمده‌ای با نسخهٔ فعلی داشته باشد.

تصویری شماتیک از فرایند

برآرایی بخار آلی -فلزی (به انگلیسی: Metal Organic Chemical Vapor Epitaxy) یکی از روش های لایه نشانی و به تعبیر بهتر برآرایی از فاز بخار است؛ از این فرایند برای رشد لایه های کریستالی مانند ساختارهای چند لایه نیمه هادی استفاده می شود. در این روش با استفاده از پیش ماده‌های آلی- فلزی (گازهای حامل فلز)، دمای رشد کاهش یافته و می توان لایه های نازک با کیفیت بهتری تهیه کرد. بر خلاف روش برآرایی باریکه مولکولی این روش با یک واکنش شیمیایی همراه است و در خلاء رخ نمی‌دهد(در فشار ۲ تا ۱۰۰ کیلو پاسکال). امروزه، برآرایی بخار فلز-آلی به یک فرایند مهم در تولید ادوات اپتوالکترونیک تبدیل شده است.

جستارهای وابسته

منابع

مشارکت‌کنندگان ویکی‌پدیا. «Metalorganic vapour phase epitaxy». در دانشنامهٔ ویکی‌پدیای انگلیسی، بازبینی‌شده در ۲۸ ژانویه ۲۰۱۳.