برآرایی
برآرایی یا رونشست یا اپیتکسی (به انگلیسی: Epitaxy) روشی برای پوشش لایهای تکبلور روی زیرلایهای تکبلور است. به لایه پوششی لایه برآرایی گفته میشود. واژه اپیتکسی ریشه یونانی دارد و از دو بخش اپی یعنی روی و تکسی یعنی در حالت منظم شکل گرفته است.
این روش با لایه نشانی معمولی لایه نازک (پا توپوتکسی) که در آن لایهای از مواد آمورف یا چندبلور رشد داده میشوند تفاوت دارد. لایه برآرایی را میتوان از فاز مایع یا گاز درست کرد و ساختار نهایی آن با زیر لایه یکی خواهد بود زیرا زیرلایه نقش بذر بلور را دارد.
اگر ترکیب لایه برآرایی با زیرلایه یکسان باشد، به آن برآرایی همگن homoepitaxy گفته میشود. از این روش برای دستیابی به ساختاری از یک ماده چند لایه که لایههایش دارای دوپینگهای مختلفی هستند (هر لایه دارای غلظت مشخصی از یک ناخالصیست) بکار میرود، مانند ساخت گونههایی از نیمهرساناها.
اگر ترکیب لایه برآرایی با زیرلایه یکسان نباشد، به آن برآرایی ناهمگن heteroepitaxy گفته میشود. ازین روش برای دستیابی به ساختاری چندلایه که هر لایه از تکبلور مادهای ویژه است، بکار میرود. برای نمونه میتوان از نیترید گالیوم روی پاقوت کبود، یا AlGaInP (فسفید آلومینیوم-گالیوم-ایندیوم) روی آرسنید گالیوم نام برد.
برآرایی در ساخت موادی که پایه ساختشان سیلیسیوماند مانند ترانزیستور دوقطبی پیوندی و سیماس، و همچنین در ساخت نیمهرساناهای ترکیبی مانند آرسنید گالیوم کاربرد دارد.
روشها [ویرایش]
امروزه روشهای گوناگونی برای برآرایی وجود دارند:
